小型流量傳感器FSM2-NVF200-S063B及其特點(diǎn)：

流量傳感器-控制器
氣體用小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)
型號(hào)FSM2-NVF200-S063B
部分衍生系列銷售中止
是壓縮空氣、氮?dú)庥眯⌒土髁總鞲衅鳌］p量、高速響應(yīng)，*適合電子部件等的吸附確認(rèn)。
行業(yè)半導(dǎo)體制造工序（后工序）
【小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實(shí)現(xiàn)了小型化。
實(shí)現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、*薄8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。
【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。
【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實(shí)現(xiàn)了以往無法實(shí)現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計(jì)
【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進(jìn)行雙方向測量，*適合吸附確認(rèn)用途。

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