CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)

極低溫測(cè)試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。

◆ 腔體規(guī)格：

型號(hào)：CGO-2/CGO-4/CGO-6

樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探針臂接口：4~6個(gè)探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷機(jī)

溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高

重量：約100千克/120千克

◆ 光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

◆ 探針臂：

X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10微米/1微米

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子

頻率支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

◆ 其他組件：

真空組件：分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

◆ 可選附件

高溫配件

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

分子泵組

激光系統(tǒng)

氣敏測(cè)試配件

規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。