EBARA荏原廢氣處理設備 TND-Single Plus-A1

2025/04/25 11:09:20

TND型

具備低氮氧化物且豐富的反應副產(chǎn)物處理措施，能夠降低維護成本的燃燒式廢氣處理裝置

產(chǎn)品介紹

TND型采用**燃燒方式，屬于低氮氧化物、低一氧化碳排放的燃燒式廢氣處理裝置。憑借各種耐腐蝕措施與副產(chǎn)物處理措施，維護間隔達到傳統(tǒng)產(chǎn)品的3倍以上，加上公用工程消耗低的低運行成本方式，能夠有效降低使用成本。產(chǎn)品陣容包括：TND-Single型（燃燒式+濕式洗滌器）、TND-Single Plus（前置清洗+燃燒式+濕式洗滌器）。在副產(chǎn)物較多的工藝中，也能實現(xiàn)低運行成本和高效處理。

規(guī)格

設備名稱	單位	TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4	TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
處理方式		燃燒式 + 濕式	濕式 + 燃燒式 + 濕式
*大允許流入氣體量	L/min	200(每個端口）	200(每個端口）
*大允許流入氣體量	L/min	400(每臺裝置）	400(每臺裝置）
燃料		選擇城市燃氣/丙烷氣體	選擇城市燃氣/丙烷氣體
尺寸	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,980	1,200 x 650 x 1,980
可處**體例		工藝（沉積）氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8等所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等	工藝（沉積）氣體 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 など所有潔凈氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2等所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6等
標準裝備品		粉體去除用水清洗結(jié)構(gòu)	前道粉體捕集結(jié)構(gòu)
標準裝備品		粉體去除用燃燒器刮板	粉體去除用燃燒器刮板
選項		自來水、污水使用量削減單元	自來水、污水使用量削減單元
選項		粉體排放削減用風機洗滌器	粉體排放削減用風機洗滌器

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EBARA荏原 廢氣處理設備 TND-Single Plus-A1

TND型

具備低氮氧化物且豐富的反應副產(chǎn)物處理措施，能夠降低維護成本的燃燒式廢氣處理裝置

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規(guī)格

EBARA荏原廢氣處理設備 TND-Single Plus-A1