ULTRA特別是針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)掩膜版,是一款更經(jīng)濟(jì),適合量產(chǎn)化的系統(tǒng),并且具有高效產(chǎn)能,高精度和更好地均勻性,以及更高的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
ULTRA更是符合半導(dǎo)體科技產(chǎn)業(yè)需要的快速,而且有效結(jié)合所有系統(tǒng),進(jìn)而量產(chǎn)的基本配備。 ULTRA*小線寬結(jié)構(gòu)可做到500nm,根據(jù)寫(xiě)入速度,*快可達(dá)每分鐘 325mm2或 580mm2,同時(shí)具備*的CD均勻性、高質(zhì)量圖像、多層套刻精度以及重復(fù)定位精度。
關(guān)于我們 - Stella International
Stella International攜手光刻技術(shù)領(lǐng)航者-海德堡儀器公司,共同為客戶帶來(lái)*的綜合應(yīng)用效能,同時(shí)建立緊密的合作伙伴關(guān)系。
為了服務(wù)客戶更廣泛多元的應(yīng)用領(lǐng)域,Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心,以海德堡原廠伙伴技術(shù)支援,提供客戶技術(shù)交流平臺(tái)以及各式前段打樣的基礎(chǔ)研究,
這些年來(lái)已服務(wù)許多的國(guó)內(nèi)大學(xué),研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。
介紹
德國(guó)海德堡 高精密無(wú)掩膜激光直寫(xiě)設(shè)備 HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德國(guó)海德堡設(shè)備(Heidelberg Instruments),創(chuàng)始于1984年,在激光直寫(xiě)設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計(jì)上,一直是*的。多年以來(lái),系統(tǒng)設(shè)備持續(xù)地改良、在各種應(yīng)用上客制化。
應(yīng)用范圍包括:微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關(guān)領(lǐng)域。
銷(xiāo)售橫跨歐洲、美國(guó)、亞洲等過(guò)50幾個(gè)*、700個(gè)以上銷(xiāo)售據(jù)點(diǎn),用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng),是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。
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ULTRA
半導(dǎo)體級(jí)別圖形發(fā)生器
The Semiconductor Laser Mask Writer
PSM 二次套刻解決方案
ULTRA特別是針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)掩膜版,是一款更經(jīng)濟(jì),適合量產(chǎn)化的系統(tǒng),并且具有高效產(chǎn)能,高精度和更好地均勻性,以及更高的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。
ULTRA更是符合半導(dǎo)體科技產(chǎn)業(yè)需要的快速,而且有效結(jié)合所有系統(tǒng),進(jìn)而量產(chǎn)的基本配備。
ULTRA*小線寬結(jié)構(gòu)可做到500nm,根據(jù)寫(xiě)入速度,*快可達(dá)每分鐘 325mm2或 580mm2,同時(shí)具備*的CD均勻性、高質(zhì)量圖像、多層套刻精度以及重復(fù)定位精度。
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Stella International攜手光刻技術(shù)領(lǐng)航者-海德堡儀器公司,共同為客戶帶來(lái)*的綜合應(yīng)用效能,同時(shí)建立緊密的合作伙伴關(guān)系。
為了服務(wù)客戶更廣泛多元的應(yīng)用領(lǐng)域,Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心,以海德堡原廠伙伴技術(shù)支援,提供客戶技術(shù)交流平臺(tái)以及各式前段打樣的基礎(chǔ)研究,
這些年來(lái)已服務(wù)許多的國(guó)內(nèi)大學(xué),研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。
介紹
德國(guó)海德堡 高精密無(wú)掩膜激光直寫(xiě)設(shè)備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德國(guó)海德堡設(shè)備(Heidelberg Instruments),創(chuàng)始于1984年,在激光直寫(xiě)設(shè)備的發(fā)展和設(shè)計(jì)上,一直是*的。多年以來(lái),系統(tǒng)設(shè)備持續(xù)地改良、在各種應(yīng)用上客制化。
應(yīng)用范圍包括:微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關(guān)領(lǐng)域。
銷(xiāo)售橫跨歐洲、美國(guó)、亞洲等過(guò)50幾個(gè)*、700個(gè)以上銷(xiāo)售據(jù)點(diǎn),用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng),是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。