應(yīng)答時(shí)間200msec的高速質(zhì)量流量控制器（MFC）。

通過(guò)使用熱傳感器，實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC獨(dú)創(chuàng)的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的高速流量控制。

流量精度可達(dá)到±1.0％S.P.，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高速流量控制200msec

• 精度±1%S.P.

• 使用溫度5～50℃

• 金屬密封材

• 無(wú)塵（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• 周圍溫度補(bǔ)償傳感器

• 支持EtherCAT通訊方式

• 支持DeviceNet?通訊方式

高速流量制御

　　　　　　　　　從全閉開(kāi)始控制　　　　　　　　　脈沖信號(hào)

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導(dǎo)體制造工藝中，在微細(xì)化的同時(shí)還需要提高產(chǎn)量。對(duì)于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器來(lái)說(shuō)，縮短流量控制開(kāi)始(啟動(dòng))時(shí)間的需求日益增加。高速質(zhì)量流量控制器【MC-7000】因?yàn)槭褂昧朔墙佑|式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測(cè)量氣體不接觸，可實(shí)現(xiàn)200msec的高速響應(yīng)。同時(shí)，因?yàn)榉墙佑|式的特點(diǎn)，該流量控制器可用于測(cè)量腐蝕性氣體。

產(chǎn)品規(guī)格表