北崎供應ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR4HT 在線氣體過濾器

北崎供應ENTEGRIS恩特格里斯 WGMXMPRR4HT 在線氣體過濾器

Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器應用CVD 設備的使用要點
高溫 TEOS、High-k 等
高溫氮2
產品規(guī)格 材料 膜 聚四氟乙烯 

 支持 PFA 系列 
  住房 316L 不銹鋼 
顆粒去除尺寸 ≥ 0.0015 微米 
粒子捕獲速率 ≥ 99.9999999 % @ 25°C 
初始清潔度 大于 0.01 μm 且小于或等于 0.03 pcs/L 的顆粒 
內表面粗糙度 Ra < 0.17 μm 
連接 1/2 英寸（12.7 毫米）密封外螺紋（兼容 VCR）® 
使用條款
 *工作壓力 0.99 MPa @ 0 ~ 200 °C 
  *允許正壓差 0.70 MPa @ 0 ~ 40 °C 
    0.08 MPa @ 200 °C 
  *工作溫度 200 °C （惰性氣體） 
He 泄漏率 <1 x 10-10 帕米3/秒 
流量 請查看性能數據。 
型號Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器 型號型號長度
WGMXMPRR4HT 127 毫米（5.00 英寸） 
WGMXMPRR4HTL 148 毫米（5.83 英寸） 

北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：
儀器相關：
山高SANKO（代理）、東機產業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設備相關：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）