北崎供應(yīng)EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
北崎供應(yīng)EBARA 荏原 TND 濕式廢氣處理器
TND 型是一種燃燒式廢氣處理系統(tǒng),采用的燃燒方法,實現(xiàn)低 NOx 和低 CO 排放。 通過各種腐蝕和副產(chǎn)品對策,實現(xiàn)了比傳統(tǒng)產(chǎn)品多 3 倍以上的維護間隔,并且采用耗電量少的低運行成本方法,可以以較低的成本使用。 產(chǎn)品陣容包括 TND-Single 型燃燒型 + 凈水機和 TND-Single Plus 型預(yù)清洗 + 燃燒型 + 凈水機。 即使在具有許多副產(chǎn)品的工藝中,也能實現(xiàn)低運行成本和高效加工。
型 | 單位 | TND-單 A1-A4/ TND-單 P1~P4 | TND-單加-A1~A4/P1~P4 |
加工方法 | 燃燒 + 濕式 | 濕式 + 燃燒式 + 濕式 | |
*進氣量 | 升/分鐘 | 200 (每個端口) | 200 (每個端口) |
400 (每單位) | 400 (每單位) | ||
燃料 | 城市燃氣/丙烷氣選擇 | 城市燃氣/丙烷氣選擇 | |
大小 | 寬 x 深 x 高 mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
可處理氣體示例 |
工藝(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工藝(庫)氣體 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般 蝕 刻氣體 HBr、Cl2PFC 如 SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
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標準設(shè)備 | 用于除粉的水清潔機制 | 前級粉末收集機構(gòu) | |
除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | ||
選擇 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | 市政水和廢水消耗減少裝置 | |
粉體減排風機洗滌器 | 粉體減排風機洗滌器 |
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