EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT1100F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT1100F

渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)

高真空性能：渦輪分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)高真空（10^-10 Pa級別），滿足高精度工藝和科學(xué)實(shí)驗(yàn)的需求。

無油污染：由于無需油液潤滑，渦輪分子泵特別適合對潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導(dǎo)體和光學(xué)鍍膜。

高效抽氣：對輕質(zhì)氣體和中質(zhì)氣體具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持真空環(huán)境。

長壽命和低維護(hù)：渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精密，運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)成本低，使用壽命長。

環(huán)保節(jié)能：無油運(yùn)行減少了油類廢棄物的產(chǎn)生，符合環(huán)保要求；同時，現(xiàn)代渦輪分子泵采用高效電機(jī)和變頻控制技術(shù)，進(jìn)一步降低了能耗。

適應(yīng)性強(qiáng)：能夠處理多種氣體，包括腐蝕性氣體和易凝結(jié)氣體，適用范圍廣泛。

渦輪分子泵特點(diǎn)

高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達(dá)每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)，甚至過10萬轉(zhuǎn)，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運(yùn)行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應(yīng)用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實(shí)現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。